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【西安日报】“西安青年科技之星”田边:

微纳小世界 感知大信息

来源:西安日报 日期 2019-02-11 10:41 点击:

书山有路勤为径,学海无涯苦作舟。西安交通大学机械工程学院田边副教授坚持“微纳小世界,感知大信息”的研究思路,经过十余年对微纳传感技术的攻坚克难,作为第三完成人参与的“高动态MEMS压阻式特种传感器及系列产品”项目,解决了发动机、水下兵器等国防、航空航天以及石化领域中的压力/加速度测量难题,荣获2017年度国家技术发明奖二等奖。

MEMS是一项革命性的新技术,广泛应用于高新技术产业,是一项关系到国家的科技发展、经济繁荣和国防安全的关键技术。在该领域我国相对于国际顶尖水平较为落后,且部分产品对我国实施禁运,严重制约了我国国防、军工以及能源、化工等重要领域的科技发展。正是在此背景下,田边副教授选择了困难较大但是意义重大的微纳传感器为研究方向。

选择出发,就从未停止,田边在MEMS传感器及微纳制造领域一扎就是十年。压阻式压力传感器存在灵敏度与线性度无法兼顾的固有矛盾问题,非线性变形比较大,结构的固有频率提高难,灵敏度等缺点限制了压阻式传感器的发展,所以克服其缺点是设计压阻式系列传感器的一项重要工作。如何解决灵敏度、线性度和固有频率的制约矛盾以提高传感器测量精度,一直是MEMS压阻式传感器行业存在的技术难题。与此同时,针对航空发动机的超高温温度测量难题,进行MEMS热电偶薄膜研究,解决了一直困扰航发高温测量中“测不到、测不准”的问题。“解决系列问题,需要抓住主要矛盾。”十几年来田边一直专注于该领域。

功夫不负有心人,2007年开始从事MEMS微纳传感器相关研究以来,田边发表相关SCI/EI论文47篇,授权发明专利9项,主持并参与国家及省部级项目数项,包括主持国家青年自然基金1项、国家重点基金项目子课题1项、863子课题1项,并参与973、863、重大专项等项目研究。获得国家技术发明奖二等奖、陕西省科学技术奖一等奖、苏州吴江区科技领军人才、西安市机械学会青年学术贡献奖、中国(国际)传感器创新大赛创新设计类别三等奖、中国(国际)传感器创新创业大赛创新设计类别二等奖。谈起自己所获的成绩,他仍然谦逊地说:“我还需要继续努力。”

原载于2019年1月30日西安日报6版

报道链接:http://epaper.xiancn.com/newxarb/html/2019-01/30/content_367272.htm?div=-1

文字:西安日报
编辑:程洪莉

 
 
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